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相關技術指標：?1）潔凈等級專業(yè)高效潔凈過濾裝置，濾網(wǎng)采用進口超細玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0....
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